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隔膜真空泵(也稱膜片泵)屬往復(fù)容積式泵。隔膜通過擴(kuò)大泵腔容積以減小泵腔壓力,推動(dòng)常壓空氣進(jìn)入泵腔,隨后腔內(nèi)常壓空氣通過閥作用通過另一通道(出氣口)被推出泵腔外。此類周期性的隔膜運(yùn)動(dòng)使真空泵在進(jìn)氣口產(chǎn)生了真空。
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德國IKA MVP 10 basic真空泵